Integrated Nanophotonic Electron Beam Modulators Enable Ultra-High Precise Method for Calibrating EELS Spectrometers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2022-08, Vol.28 (S1), p.792-793
Hauptverfasser:	Sapozhnik, Alexey, Cattaneo, Paolo, Weaver, Bruce R. M., Raja, Arslan Sajid, Yang, Yujia, Kippenburg, Tobias J., Carbone, Fabrizio, LaGrange, Thomas
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical Sciences Symposia Electron beams Modulators Science of Metrology with Electrons Spectrometers
Online-Zugang:	Volltext
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