Evaluation of Lattice-Spacing of SiGe/Si by NBD using Two-condenser-lens TEM

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2022-08, Vol.28 (S1), p.2812-2813
Hauptverfasser:	Yamanaka, Junji, Oguni, Takuya, Sano, Yuichi, Ohshima, Yusuke, Onogawa, Atsushi, Hara, Kosuke O., Arimoto, Keisuke
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	General Physical Sciences Physical Sciences Symposia
Online-Zugang:	Volltext
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