Ways to Suppress Electron Beam Damage Using High-Speed Electron Beam Control by Electrostatic Shutter in Sample Observation and Analysis

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2022-08, Vol.28 (S1), p.2200-2201
Hauptverfasser:	Hashiguchi, Hiroki, Yagi, Kazuki, Jimbo, Yu, Sagawa, Ryusuke, Bloom, Ruth Shewmon, Reed, Bryan, Park, Sang Tae, Masiel, Daniel J., Ohnishi, Ichiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electron beams Electron Microscopy of Beam Sensitive Samples: The Trials and Tribulations of Electron-beam Sample Interactions Physical Sciences Symposia
Online-Zugang:	Volltext
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