Deep-Learning Based Autofocus Score Prediction of Scanning Electron Microscope

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2019-08, Vol.25 (S2), p.182-183
Hauptverfasser:	Kim, Huisoo, Oh, Moohyun, Lee, Heerang, Jang, Jonggyu, Kim, Myeung Un, Yang, Hyun Jong, Ryoo, Michael, Lee, Junhee
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical and Instrumentation Science Symposia Data Acquisition Schemes, Machine Learning Algorithms, and Open Source Software Development for Electron Microscopy Deep learning Scanning electron microscopy
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