Towards Routine EDX Tomography in Semiconductor Failure Analysis

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2019-08, Vol.25 (S2), p.1820-1821
Hauptverfasser:	Baumann, Frieder H., Popielarski, Brian, Mitchell, Travis, Lu, Yinggang
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Failure analysis Physical Science Symposia Theory and Applications of Electron Tomography in the Materials Sciences
Online-Zugang:	Volltext
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