Light Ion Beams Interacting with Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2019-08, Vol.25 (S2), p.906-907
Hauptverfasser:	Xia, Deying, Notte, John
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Advances in Focused Ion Beam Instrumentation and Techniques Analytical and Instrumentation Science Symposia Ion beams Light ions Thin films
Online-Zugang:	Volltext
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