Survey of Questionnaire on Ultra-precision Positioning

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Veröffentlicht in:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering 2020/10/05, Vol.86(10), pp.735-740
Hauptverfasser:	OIWA, Takaaki, KATSUKI, Masahide
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Schlagworte:	actuator guide way positioning accuracy positioning control theory positioning device specification positioning resolution questionnaire survey ultra-precision positioning
Online-Zugang:	Volltext
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