Two-degree-of-freedom Piezoelectric MEMS Energy Harvester Based on Bulk PZT Film
In this paper, we propose a low-frequency (
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Veröffentlicht in: | Sensors and materials 2019-01, Vol.31 (12), p.4079 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | In this paper, we propose a low-frequency ( |
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ISSN: | 0914-4935 |
DOI: | 10.18494/SAM.2019.2543 |