Fabrication of Nanocomposite AlN Hard Coating Film by Reactive Coaxial Arc Plasma Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Hyōmen gijutsu 2017/12/01, Vol.68(12), pp.735-737
Hauptverfasser:	YOSHIDA, Tomohiro, UCHIDA, Seiya, MURASAWA, Kouki, KUDO, Masaki, TORIYAMA, Takaaki, FUKUI, Yasuo, SAKURAI, Masatoshi, YOSHITAKE, Tsuyoshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	AlN Arc deposition Hard Coating Hard surfacing Nanocomposite Film Nanocomposites Plasma deposition
Online-Zugang:	Volltext
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