Ultra-Fast and High-Precision Crystal Orientation Measurements on 4H-SiС

For a fast and precise crystal orientation of 4H-SiC, the so-called Omega-scan is presented. With this method the orientation can be determined within only 5 s. This paper presents a detailed study of different influences on the precision and repeatability of this method on 4H-SiC.

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Materials science forum 2019-07, Vol.963, p.332-335
Hauptverfasser:	Weißbach, Torsten, Schüler, Nadine, Berger, Hans, Dornich, Kay, Bradaczek, Hans Arthur
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Crystal structure Orientation
Online-Zugang:	Volltext
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