Expanding plasma used for plasma deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Pure and applied chemistry 1988-05, Vol.60 (5), p.795-808
Hauptverfasser:	Kroesen, G M W, Timmermans, C J, Schram, D C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Expanding plasmas Plasma deposition
Online-Zugang:	Volltext
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