波長分散型蛍光X線分析による大面積イメージング及び固体試料の溶解過程の元素モニタリング

波長分散型蛍光X線イメージング法は，走査型のエネルギー分散型蛍光X線イメージング法と比較して迅速なイメージングを行うことができる手法である．この手法の分析視野は，使用している二次元コリメーターの大きさに依存する．そこで，分析視野を拡大するために，試料の走査を併用したイメージング法を検討した．分析対象をセグメントごとに測定し，得られた元素分布像を合成することによって，プリント基板（30 mm × 54 mm）に対し，54秒の総露光時間で，CuやBrなど各元素のイメージングを行うことができた．また，本手法の短時間での元素イメージングという特徴を活かして，溶液中での化学反応のモニタリングへの応用を検討した．金属試料の溶解過程に対して，60秒の露光時間での元素イメージングを連続的に行った．亜鉛片が塩酸中で溶解して，拡散する様子をZn Kα強度分布から可視化することができた．