The effects of gas dilution on the nanoparticles nucleation in a low pressure capacitively coupled acetylene discharge

The effects of gas dilution on the chemistry of macromolecules and nucleation of nanoparticles in a low pressure radio-frequency acetylene discharge are investigated by employing a self-consistent, one dimensional multi-fluid model. Ar, He, and H2 are used for the dilution with different percentages...

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Veröffentlicht in:Physics of plasmas 2017-05, Vol.24 (5)
Hauptverfasser: Akhoundi, A., Foroutan, G.
Format: Artikel
Sprache:eng
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