Characterization of 3D Dopant Distribution in State of the Art FinFET Structures

Extended abstract of a paper presented at Microscopy and Microanalysis 2013 in Indianapolis, Indiana, USA, August 4 – August 8, 2013.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Microscopy and microanalysis 2013-08, Vol.19 (S2), p.960-961
Hauptverfasser: Hatzistergos, M.S., Hopstaken, M., Kim, E., Vanamurthy, L., Shaffer, J.F.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:Extended abstract of a paper presented at Microscopy and Microanalysis 2013 in Indianapolis, Indiana, USA, August 4 – August 8, 2013.
ISSN:1431-9276
1435-8115
DOI:10.1017/S143192761300679X