Time of Flight Backscatter and Secondary Ion Spectrometry in a Helium Ion Microscope

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2018-08, Vol.24 (S1), p.802-803
Hauptverfasser:	Klingner, Nico, Hlawacek, Gregor, Heller, Rene, von Borany, Johannes, Facsko, Stefan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical and Instrumentation Science Symposia Backscattering Helium Helium ions Spectrometry The FIB-SEM Laboratory: Sample Preparation and Beyond
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