High-Accuracy Sample Preparation for Three Dimensional Atom Probe Tomography Using Orthogonal Column Layout FIB-SEM and its STEM function

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2018-08, Vol.24 (S1), p.830-831
Hauptverfasser:	Tsuchiya, Miki, Orai, Yoshihisa, Sato, Takahiro, Man, Xin, Katane, Junichi, Onishi, Tsuyoshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Analytical and Instrumentation Science Symposia Sample preparation The FIB-SEM Laboratory: Sample Preparation and Beyond
Online-Zugang:	Volltext
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