DELTA - A Novel Ultra-Low Voltage SEM for Electron Spectroscopic Imaging

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Microscopy and microanalysis 2018-08, Vol.24 (S1), p.626-627
Hauptverfasser: Schroder, Rasmus R., Schindler, Bernd, Schnell, Michael, Hendrich, Christian, Wensorra, Jakob, Zhang, Wen-Shan, Eisele, Jorg, Veith, Lisa, Kammerer, Jochen, Pfannmoller, Martin, Preikszas, Dirk, Wacker, Irene
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1431-9276
1435-8115
DOI:10.1017/S1431927618003628