Deposition of polycrystalline AIN thin films by coherent magnetron sputtering at temperatures <80°C

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 2001-01, Vol.30 (1), p.1-7
Hauptverfasser:	Chu, A. K., Chao, C. H., Lee, F. Z., Huang, H. L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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