Water bonding of 75 mm diameter GaP to AlGaInP-GaP light-emitting diode wafers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 2000-02, Vol.29 (2), p.188
Hauptverfasser:	I -H Tan, Vanderwater, D A, J -W Huang, Hofler, G E
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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