Stress relaxation and thermal evolution of film properties in amorphous carbon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1997-09, Vol.26 (9), p.1021-1029
Hauptverfasser:	Sullivan, J.P, Friedmann, T. A., Baca, A. G.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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