Rapid thermal annealing of zirconia films deposited by spray pyrolysis

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1998-02, Vol.27 (2), p.96
Hauptverfasser:	Beltran, N H, Balocchi, C, Errazu, X, Avila, R E, Piderit, G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!