Formation of dry etched gratings in GaN and InGaN

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1997-03, Vol.26 (3), p.290-293
Hauptverfasser:	Lee, J. W., Hong, J., Mackenzie, J. D., Abernathy, C. R., Pearton, S. J., Ren, F., Sciortino, P. F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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