Room Temperature Fabrication of High Quality ZrO2 Dielectric Films for High Performance Flexible Organic Transistor Applications

By using low-cost solution process and ultraviolet (UV) irradiation, we successfully fabricated high-quality ZrO 2 films at room temperature. The ZrO 2 films obtained with 1-h UV curing showed a very low leakage current ( 1.7\times 10^{-6} A/cm 2 at −3 V), a high breakdown electric field 7.9 MV/cm,...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2018-02, Vol.39 (2), p.280-283
Hauptverfasser: Gong, Yanfen, Zhao, Kai, Yan, Longsen, Wei, Weiyao, Yang, Cheng, Ning, Honglong, Wu, Sujuan, Gao, Jinwei, Zhou, Guofu, Lu, Xubing, Liu, J.-M.
Format: Artikel
Sprache:eng
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