RETRACTED ARTICLE: Nanocharacterization of Titanium Nitride Thin Films Obtained by Reactive Magnetron Sputtering
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Veröffentlicht in: | JOM (1989) 2017-08, Vol.69 (8), p.1455-1455 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1047-4838 1543-1851 |
DOI: | 10.1007/s11837-015-1460-2 |