A Static Low Energy Ion Source for Local Surface Modification

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2016-07, Vol.22 (S3), p.630-631
Hauptverfasser:	Mulders, Johannes J L, Trompenaars, Petrus HF
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Advances in Scanning Electron/Ion Instrumentation and Detectors Analytical and Instrumentation Science Symposia Electrons Energy Gas flow Gases Ion beams
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!