Electron Channeling Contrast Imaging for Non-Destructive Analysis of Extended Defects in Semiconductor Thin Films and Device Structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2014-08, Vol.20 (S3), p.1064-1065
Hauptverfasser:	Katz, M.B., Twigg, M.E., Maximenko, S.I., Bassim, N.D., Mahadik, N.A., Jernigan, G.G., Canedy, C.L., Abell, J., Affouda, C.A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Advances in Instrumentation Symposia Extended Crystal Defects: Quantification of Strain, Local Atomic Structure and Chemistry Thin films
Online-Zugang:	Volltext
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