In-Situ Quantification of TEM Lamella Thickness and Ga Implantation in the FIB

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2014-08, Vol.20 (S3), p.342-343
Hauptverfasser:	Hiscock, Matthew, Dawson, Michael, Lang, Christian, Hartfield, Cheryl, Statham, Peter
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	15 Years of Focused Ion Beams at M & M Advances in Instrumentation Symposia
Online-Zugang:	Volltext
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