3D Atom Probe Microscopy Sample Preparation by Using L-Shape FIB-SEM-Ar Triple Beam

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2014-08, Vol.20 (S3), p.354-355
Hauptverfasser:	Man, Xin, Asahata, Tatsuya, Uemoto, Atsushi, Susuki, Hidekazu, Suzuki, Hiroyuki, Hasuda, Masakatsu, Fujii, Toshiaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	15 Years of Focused Ion Beams at M & M Advances in Instrumentation Symposia Sample preparation
Online-Zugang:	Volltext
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