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Veröffentlicht in: | Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2014-06, Vol.26 (3), p.3-3 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | ger |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0947-076X 1522-2454 |
DOI: | 10.1002/vipr.201490031 |