Fine Grain Diamond Film Synthesis Using Pulse Microwave Plasma CVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Hyōmen gijutsu 1996/06/01, Vol.47(6), pp.548-549
Hauptverfasser: SAKAMOTO, Yukihiro, USHIKUBO, Koji, TAKAYA, Matsufumi
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0915-1869
1884-3409
DOI:10.4139/sfj.47.548