A Dual Ion Beam Mixing System and Its Use in Preparing of Carbon Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Hyōmen gijutsu 1992/12/01, Vol.43(12), pp.1239-1240
Hauptverfasser:	MIURA, Tsuyoshi, IRIE, Kazutaka, MINATO, Kikuo, KOSHIJI, Naohiro, YAMAKI, Shinichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Diamond-like Carbon Dual Ion Beam Mixing System Dynamic Mixing Reflectance
Online-Zugang:	Volltext
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