Graphoepitaxy of Diblock Copolymer on Micropatterned Substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of Photopolymer Science and Technology 2005, Vol.18(3), pp.421-423
Hauptverfasser: Yamaguchi, Toru, Namatsu, Hideo
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0914-9244
1349-6336
DOI:10.2494/photopolymer.18.421