Effects of Modified Materials on Plasma in Surface Modification by CF4 Plasma

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Veröffentlicht in:	Journal of Photopolymer Science and Technology 2004, Vol.17(2), pp.177-178
Hauptverfasser:	Katoh, Masaaki, Shirai, Masami, Ohte, Takeo, Kojima, Akira
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	CF4 plasama Mass spectra Optical emission spectra Surface modification
Online-Zugang:	Volltext
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