New Positive-type Chemically Amplified Photosensitive Poly(phenylene ether)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of photopolymer science and technology 2001-01, Vol.14 (1), p.51
Hauptverfasser:	Sasada, Yasuyuki, Tamamura, Makoto, Shibasaki, Yuji, Ueda, Mitsuru
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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