The Alkali Soluble Critical State of Photodecomposition Product of PAC and Its ACOOH

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of Photopolymer Science and Technology 1998, Vol.11(1), pp.97-99
Hauptverfasser:	Fang, Huicong, Zou, Yingquan, Yu, Shangxian, Gu, Jiangnan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	ACOOH value alkali soluble critical state photoactive compound positive resist
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!