Study of Copolymer Properties for ArF Excimer Laser Resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of Photopolymer Science and Technology 1997, Vol.10(4), pp.559-560
Hauptverfasser:	Asakawa, Koji, Ushirogouchi, Tohru, Shida, Naomi, Okino, Takeshi, Nakase, Makoto
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	acrylic polymer alicyclic ArF menthyl molecular weight solubilty
Online-Zugang:	Volltext
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