DUAL-TONE PHOTO-RESISTS BEHAVIOR OF POLYMERIC PHOTO-ACID GENERATORS BEARING [beta]-KETOSULFONE UNITS

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of photopolymer science and technology 1996-01, Vol.9 (1), p.17
Hauptverfasser:	TSUNOOKA, MASAHIRO, IKEHARA, TAKESHI, TAKEMOTO, TOSHIKAZU, SHIRAI, MASAMITSU
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0914-9244 1349-6336