Turbo-Pumped Remote Plasma Cleaning for Faster SEM Contamination Removal

Extended abstract of a paper presented at Microscopy and Microanalysis 2012 in Phoenix, Arizona, USA, July 29 – August 2, 2012.

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy and microanalysis 2012-07, Vol.18 (S2), p.1238-1239
Hauptverfasser:	Morgan, C.G., Vane, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Detectors, Correctors, and Analysis Methods-03 Instrumentation Symposium Microscopy Plasma
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Extended abstract of a paper presented at Microscopy and Microanalysis 2012 in Phoenix, Arizona, USA, July 29 – August 2, 2012.
ISSN:	1431-9276 1435-8115
DOI:	10.1017/S1431927612008045