Where is Silicon Based MEMS Heading to?

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki
Format:	Buchkapitel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electronic Devices Electronics & Semiconductors
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1016/B978-0-12-817786-0.00062-1