Sputtering of Germanium by 15 to 35 keV Noble Gas Ions

Sputtering yields of Ge bombarded by 15 to 35 keV 40Ar+, 84Kr+, and 132Xe+ ions are measured. The data are discussed on the basis of Sigmund's linear collision cascade theory taking into account the different reduced nuclear stopping cross‐section functions as suggested by different authors. For Ar and Kr ions the theory with the stopping cross‐section due to Wilson et al. agrees reasonably well with the experiment. The yields for Xe ions tend to increase from the theoretical curve. The cause of the discrepancy is discussed in the light of the energy deposition in the loaded target with projectile ions and the spike effect due to heavy ion irradiation, which are not included in the simple cascade theory. Die Sputterausbeute von mit 15 bis 35 keV 40Ar+‐, 84Kr+‐, und 132Xe+‐Ionen bombardierten Ge wird gemessen. Die Werte werden anhand der Sigmundschen Theorie der linearen Stoßkaskade unter Berücksichtigung von verschiedenen reduzierten Kernbremsquerschnittsfunktionen verschiedener Autoren diskutiert. Für Ar‐ und Kr‐Ionen stimmt die Theorie mit Bremsquerschnitten von Wilson u. a. vernünftig mit dem Experiment überein. Die Ausbeuten für Xe‐Ionen scheinen die theoretischen Kurven zu übersteigen. Der Grund für diese Diskrepanz wird mit der Energiedepositron in dem mit Projektilionen beladenen Target und dem Spike‐Effekt, der von der Bestrahlung mit schweren Ionen herrührt, diskutiert, die nicht in der einfachen Kaskadentheorie enthalten sind.