Laser-enhanced jet platine: a method of high-speed maskless patterning

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters 1983, Vol.43 (9), p.876-878
Hauptverfasser: VON GUTFELD, R. J, GELCHINSKI, M. H, ROMANKIW, L. T, VIGLIOTTI, D. R
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0003-6951
1077-3118