Flame hydrolysis deposition of SiO2-TiO2 glass planar optical waveguides on silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1983-01, Vol.22 (12)
Hauptverfasser:	KAWACHI, M, YASU, M, KOBAYASHI, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Circuit properties Electric, optical and optoelectronic circuits Electronics Exact sciences and technology Integrated optics. Optical fibers and wave guides Optical and optoelectronic circuits
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