Deposition of GaAs epitaxial layers by organometallic CVD: temperature and orientation and orientation dependence

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1983, Vol.130 (3), p.675-680
Hauptverfasser:	REEP, D. H, GHANDHI, S. K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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