Interconnect limits on gigascale integration (GSI) in the 21st century: The Limits of Semiconductor Technology

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Proceedings of the IEEE 2001, Vol.89 (3), p.305-324
Hauptverfasser:	DAVIS, Jeffrey A, VENKATESAN, Raguraman, KALOYEROS, Alain, BEYLANSKY, Michael, SOURI, Shukri J, BANERJEE, Kaustav, SARASWAT, Krishna C, RAHMAN, Arifur, REIF, Rafael, MEINDL, James D
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Metallization, contacts, interconnects device isolation Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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