Effects of the modified materials on plasma in surface modification by plasma

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KATOH, Masaaki, MIYAZAKI, Hirokatu, MIYASHITA, Kiyoshi, OHI, Seiya, TAJIMA, Kenichi, OHTE, Takeo, KOJIMA, Akira, OHTANI, Sugio
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Physics Surface treatments
Online-Zugang:	Volltext
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