Auger sputter profiling and secondary ion mass spectrometry studies of SiO2 grown in O2/HCI mixtures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1984, Vol.131 (4), p.887-894
Hauptverfasser:	ROUSE, J. W, HELMS, C. R, DEAL, B. E, RAZOUK, R. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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