Properties of hydro-fluorinated amorphous silicon-carbide produced by intermediate species SiF2

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1985, Vol.24 (10), p.1263-1266
Hauptverfasser:	UESUGI, T, IHARA, H, MATSUMURA, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Electronic transport in condensed matter Exact sciences and technology Photoconduction and photovoltaic effects photodielectric effects Physics
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