Effect of anomalous drift during ion implantation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Radiation effects 1986, Vol.88 (3-4), p.249-255
Hauptverfasser:	ALEKSANDROV, P. A, BARANOVA, E. K, BELOSHITSKII, V. V, DEMAKOV, K. D, STAROSTIN, V. A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Doping and impurity implantation in iii-v and ii-vi semiconductors Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
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