Simulation of a diamond-shaped target with different sizes in plasma based ion implantation

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Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2000-10, Vol.33 (20), p.2647-2652
Hauptverfasser:	Qi, Sun, Xinxin, Ma, Lifang, Xia
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Ionization of plasmas Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma interactions (nonlaser) Plasma production and heating Plasma properties Plasma sources Plasma-wall interactions boundary layer effects Plasma-wall interactions boundary layer effects plasma sheaths
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