Multiple scale integrated modeling of deposition processes: Process and materials modeling in IC fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Thin solid films 2000, Vol.365 (2), p.368-375
Hauptverfasser: MERCHANT, Tushar P, GOBBERT, Matthias K, CALE, Timothy S, BORUCKI, Leonard J
Format: Artikel
Sprache:eng
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